制程污染防控设备在泛半导体行业的应用

半导体是指常温下导电性介于导体和绝缘体之间的材料,半导体在照明、显示、能源、集成电路等领域的应用构成了形形色色的泛半导体产业。 与钢铁冶金、水泥建材等重工业企业不同,泛半导体产业自诞生之日起,就一直朝着精密化、微型化方向发展,其制程中的工艺精细控制、作业环境的清洁度、污染防范控制是其生产工艺的关键环节。

光电、光伏、精密电子等泛半导体企业在产品制造工艺流程中会持续产生各类复杂污染物,主要包括 NOx、酸碱废气、特气危气、 VOCs、粉尘和废水等。经过制程污染防控系统的高效处理:首先,能够防止生产工艺设备被腐蚀、污染,保持作业机台的洁净度,降低杂质掺入对产品的不良影响,保障并提升产品生产良率;其次,最大程度的杜绝因特殊气体、危险气体的使用可能引发的生产事故(爆炸、中毒、失火等),保障生产安全、生命安全和财产安全;最后,实现制程污染物的排放达标,符合行业标准的排放要求。

以光伏电池片生产为例,其制造工艺流程主要包括制绒清洗、扩散、刻蚀、PECVD、 丝网印刷、 检测封装等,各个环节均有不同种类的污染物排放,因此,制程污染防控系统对泛半导体产业而言,既是解决企业达标排放的环保装备,也是保障企业安全生产、提高产品良率的重要辅助设备, 是企业生产系统不可或缺的组成部分,其与厂房动力设备、原辅料输送设备共同构成了泛半导体企业的厂务系统,为该行业内企业核心生产工艺设备运转提供支持。